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半导体良率提升秘诀:镀层测厚仪在晶圆检测的应用优势
发布时间:2025-05-09 15:00:22 点击次数:23160

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在半导体制造领域,晶圆可谓是核心中的核心,通常是由高纯度的单晶硅制成的圆形薄片。其制造流程极为复杂,涵盖多个关键步骤。

晶圆片基片集成电路用硅片(仅供交流学习非商用) (2).png

而晶圆镀层更是有着举足轻重的地位。作为半导体芯片制造的基础,晶圆通常由单晶硅等材料制成。在其制造过程中,对基片进行多道工艺加工并覆盖镀层,是满足特定半导体器件制造需求的关键步骤。


晶圆镀层的功能


从功能上看,晶圆镀层的作用丰富多样。它可以充当保护层,有效防止晶圆表面遭受外部环境的侵蚀与污染,避免氧化、腐蚀现象的发生,以及阻挡污染物的进入,从而维持晶圆的高质量与高性能。

某些具有良好导电性能的镀层,能够在晶圆上构建电子器件的导线和电极;而一些镀层则可用于制造隔离层,防止电子器件间的信号串扰,提升器件的性能与可靠性。

在光学器件与光学测量方面,晶圆镀层减少光反射的特性,极大地提高了器件的光学效率与准确性。像金、银、铜等金属镀层常用于构建导电层和接触层,二氧化硅和氮化硅等氧化物镀层则常被用于制作隔离层和保护层。

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晶圆片基片集成电路用硅片(仅供交流学习非商用) (3).png


在半导体制造领域,晶圆是核心基础,而晶圆镀层的质量对半导体器件的性能和可靠性起着关键作用。既然晶圆镀层如此关键,那么对其质量和性能的检测就显得尤为重要。


镀层测厚仪作为一种先进的检测设备,在晶圆生产中具有诸多显著的应用优势,为半导体产业的高质量发展提供了有力支持。



T650Plus
佳谱仪器镀层测厚仪系列

佳谱仪器自主研发生产的T650Plus镀层测厚仪,以高精度、快速无损测量、自动化操作功能、操作简便等特点,为晶圆生产提供了可靠的检测手段。通过精确测量和实时监控镀层厚度,能够有效避免因镀层厚度不合格导致的返工或报废。确保产品质量和性能的稳定性,不仅提高了生产效率,还显著降低了生产成本。

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T650plus镀层测厚仪不仅适用于多种镀层材料,如金、银、铜等金属镀层,还能同时分析多种元素。在晶圆生产中,不同工艺步骤可能涉及不同类型的镀层,镀层测厚仪能够满足这些多样化的需求。此外,镀层测厚仪还具备材料鉴别、成分分析等功能,为晶圆生产中的质量控制提供了全面的解决方案。


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